[report] 주사전자현미경을 이용한 미세구조 observe
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작성일 20-06-12 10:40
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3.2 주사전자 현미경(Scanning Electron Microscope: SEM)
시료 표면의 입체구조를 직접 observation하는 기능을 가진 전자현미경이고, 약칭은 SEM이다.
2.실험 준비물
표준시험편 (바륨타이네이트(BaTiO3) 등 세라믹 분말 및 소결체
주사전자현미경
Image analyzing software
3.theory 적 배경
3.1 구조-물성-프로세싱의 관계
재료의 미세구조는 프로세싱에 의하여 alteration(변화) 가 가능하며, 이러한 미세구조의 alteration(변화) 는 최종 재료의 물성과 밀접한 관계가 있따 따라서 최종 물성을 예측하기 위해서 미세구조를 파악할 필요가 있으며, 이를 위하여 본 실험에서는 주사전자 현미경을 활용하기로 한다. 주사전자현미경은 전자기렌즈...
실험headline(제목): 주사전자현미경을 이용한 미세구조 observation
1.실험목적
본 실험에서는 주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope: SEM)을 이용하여 재료의 미세구조를 observation하는 방법을 학습한다. 시료 내의 원소로부터 발생하는 특정 X선을 分析(분석)하는 X선마이크로分析(분석)기와 병용하여, 시료 내에서의 특정 원소의 검출이나 분포를 해석하는 수단으로서도 널리 이용되고 있따 분해능은 약 3∼20㎚이지만, 3㎚ 이하의 분해능을 가진다.
3.2 주사전자 현미경(Scanning Electron Microscope: SEM)
시료 표면의 입체구조를 직접 observation하는 기능을 가진 전자현미경이고, 약칭은 SEM이다. 주사전자현미경은 전자기렌즈로 작게 축소된 전자선으로 시료 표면을 주사하여 표면으로부터 발생하는 2차전자·반사전자 등을 증폭하고 이들 양자강도를 휘도(輝度)로 바꾸어 브라운관에 결상시킨다. 실험headline(제목): 주사전자현미경을 이용한 미세구조 observation
1.실험목적
본 실험에서는 주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope: SEM)을 이용하여 재료의 미세구조를 observation하는 방법을 학습한다.
2.실험 준비물
표준시험편 (바륨타이네이트(BaTiO3) 등 세라믹 분말 및 소결체
주사전자현미경
Image analyzing software
3.theory 적 배경
3.1 구조-물성-프로세싱의 관계
재료의 미세구조는 프로세싱에 의하여 alteration(변화) 가 가능하며, 이러한 미세구조의 alteration(변화) 는 최종 재료의 물성과 밀접한 관계가 있따 따라서 최종 물성을 예측하기 위해서 미세구조를 파악할 필요가 있으며, 이를 위하여 본 실험에서는 주사전자 현미경을 활용하기로 한다. 주로 금속등의 도체, IC, 산화물등의 반도체, 고분자 재료나 세라믹등의 절…(생략(省略))
실험결과/기타
[report] 주사전자현미경을 이용한 미세구조 observe
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[report] 주사전자현미경을 이용한 미세구조 observe
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다.
3.3 주사전자 현미경의 작동원리
SEM이란 10-3Pa이상의 진공 중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 적외선, X선, 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 observation이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 分析(분석)을 행하는 장치이다.