[공학기술] 리소그래피Lithography4
페이지 정보
작성일 20-04-26 19:31본문
Download : [공학기술] 리소그래피Lithography4.hwp
origin:
1790년대 말 독일의 알로이즈 세네펠더 Alois Senefelder 에 의해 고안된 인쇄방법 어떤 형상이 석판이나 금속판에 새겨질 수 있었으…(skip)
[공학기술] 리소그래피Lithography4 , [공학기술] 리소그래피Lithography4공학기술레포트 , 공학기술 리소그래피Lithography
공학기술,리소그래피Lithography,공학기술,레포트
순서
[공학기술] 리소그래피Lithography4
레포트/공학기술
Download : [공학기술] 리소그래피Lithography4.hwp( 82 )
설명
[공학기술] 리소그래피Lithography4
![[공학기술]%20리소그래피Lithography4_hwp_01.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BCLithography4_hwp_01.gif)
![[공학기술]%20리소그래피Lithography4_hwp_02.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BCLithography4_hwp_02.gif)
![[공학기술]%20리소그래피Lithography4_hwp_03.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BCLithography4_hwp_03.gif)
![[공학기술]%20리소그래피Lithography4_hwp_04.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BCLithography4_hwp_04.gif)
다.
리소그래피(Lithography)
定義(정의) :
집적회로를 만들 때 중요한 부분에 사진기술이 사용된다된다. 이 기술의 核心은 짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도를 높이는 것으로 처음에는 가시광선 자외선을 사용했으나 최근에는 전자 빔을 사용해 더 미세한 패턴을 만든다. 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 부품의 패턴을 빛으로 촬영하고 그것이 감광된 수지 를 칩 표면에 고정한 후 화학처리나 확산처리를 하는데 이를 총칭하여 리소그래피(lithography)라 한다.