[공학기술] 리소그래피Lithography4
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작성일 20-04-26 19:31
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1790년대 말 독일의 알로이즈 세네펠더 Alois Senefelder 에 의해 고안된 인쇄방법 어떤 형상이 석판이나 금속판에 새겨질 수 있었으…(skip)
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[공학기술] 리소그래피Lithography4
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다.
리소그래피(Lithography)
定義(정의) :
집적회로를 만들 때 중요한 부분에 사진기술이 사용된다된다. 이 기술의 核心은 짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도를 높이는 것으로 처음에는 가시광선 자외선을 사용했으나 최근에는 전자 빔을 사용해 더 미세한 패턴을 만든다. 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 부품의 패턴을 빛으로 촬영하고 그것이 감광된 수지 를 칩 표면에 고정한 후 화학처리나 확산처리를 하는데 이를 총칭하여 리소그래피(lithography)라 한다.
